薄膜計量橢圓光譜儀

1. 產品概述

SENTECH SENpro 橢圓偏振光譜儀具有操作簡單、測量速度快、不同入射角橢偏振測量的組合數據分析等特點。它的測量光譜范圍為 370 nm 至 1,050 nm。該工具的光譜范圍與先進的軟件 SpectraRay/4 相結合，可以輕松確定單片薄膜和復雜層疊的厚度和折射率。

2. 主要功能與優勢

離散入射角

SENTECH SENpro 光譜橢圓儀包括一個角測角儀，其入射角以 5° 步長 （40° – 90°） 進行，以優化橢圓測量。

步進掃描分析儀原理

SENpro具有的步進掃描分析儀原理。在數據采集過程中，偏振器和補償器是固定的，以提供高精度的橢圓測量。

速度和準確性

該工具注于測量薄膜的速度和準確性，無論它們應用于何處。應用范圍從 1 nm 的薄層到高達 15 μm 的厚層。 

可重復且準確的結果

經濟高效的臺式 SENTECH SENpro 包括 VIS-NIR 橢圓儀光學元件、5° 步進測角儀、樣品平臺、激光對準、光纖耦合穩定光源和檢測單元。SENpro 配備光譜橢圓儀軟件 SpectraRay/4，用于系統控制和數據分析，包括建模、模擬、擬合和數據呈現。即用型應用程序文件使操作變得非常容易，即使對于初學者也是如此。SpectraRay/4 支持計算機控制的均勻性測量映射。