SENTECH SENpro 橢圓偏振光譜儀具有操作簡單、測量速度快、不同入射角橢偏振測量的組合數據分析等特點。它的測量光譜范圍為 370 nm 至 1,050 nm。該工具的光譜范圍與先進的軟件 SpectraRay/4 相結合，可以輕松確定單片薄膜和復雜層疊的厚度和折射率。

SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 橢圓偏振法分別測量高達 2,500 nm 或 3,500 nm 的近紅外光譜。它提供最寬的光譜范圍、*的信噪比和最高的可選光譜分辨率。可以測量厚度達 200 μm 的硅膜。FTIR橢圓偏振儀的測量速度與二極管陣列配置相比，二極管陣列配置也可選擇高達1,700 nm。

SENTECH SE 500adv結合了橢圓偏振法和反射法，消除了測量透明薄膜層厚的模糊性。它將可測量的厚度擴展到 25 μm。因此，SE 500adv 擴展了標準激光橢偏儀 SE 400adv 的功能，特別適用于分析較厚的電介質、有機材料、光刻膠、硅和多晶硅薄膜。

FTPadv Expert薄膜測量軟件具有FTPadv標準軟件中包含的用戶友好和以配方為導向的操作概念。突出顯示擬合參數、測量和計算的反射光譜以及主要結果的光學模型同時顯示在操作屏幕上。

FTPadv是一種經濟高效的臺式光譜反射解決方案，具有快速厚度測量功能。測量時間不到 100 ms，精度低于 0.3 nm，膜厚范圍為 50 nm – 25 μm。包括一系列預定義的配方，便于光譜反射儀操作

RM 1000 和 RM 2000 光譜反射儀可測量表面光滑或粗糙的平面或彎曲樣品的反射率。使用SENTECH FTPadv Expert軟件計算單膜或層疊的厚度、消光系數和折射率。厚度分別為 2 nm 和 50 μm （RM 2000） 或 100 μm （RM 1000） 的單片、層疊和基板可以在 UV-VIS-NIR 光譜范圍內進行分析。