薄膜計量激光橢圓儀

1. 產品概述

SENTECH SE 500adv結合了橢圓偏振法和反射法，消除了測量透明薄膜層厚的模糊性。它將可測量的厚度擴展到 25 μm。因此，SE 500adv 擴展了標準激光橢偏儀 SE 400adv 的功能，特別適用于分析較厚的電介質、有機材料、光刻膠、硅和多晶硅薄膜。

2. 主要功能與優勢

明確的厚度測定

橢圓偏振法和反射法的結合允許通過自動識別循環厚度周期來快速、明確地確定透明薄膜的厚度。

大的測量范圍

激光橢偏儀和反射儀的結合將透明薄膜的厚度范圍擴展到 25 μm 或更多，具體取決于所選的光度計選項。

突破激光橢圓偏振儀的限

多角度手動測角儀具有優秀的性能和角度精度，可以測量單片和層疊的折射率、消光系數和膜厚。 

3. 靈活性和模塊化

SENTECH SE 500adv 可用作激光橢偏儀、膜厚探頭和 CER 橢偏儀。因此，它提供了標準激光橢偏儀無法達到的大靈活性。作為橢圓儀操作，可以執行單角度和多角度測量。當作為膜厚探頭操作時，透明或弱吸收膜的厚度是在正常入射下測量的。

SE 500adv 中的橢圓偏振法和反射儀 （CER） 組合包括橢偏儀光學元件、測角儀、組合反射測量頭和自動準直望遠鏡、樣品平臺、氦氖激光源、激光檢測單元和光度計。