多模態光電顯微鏡

燭龍™系列中的多模態光電顯微鏡是一臺具有超高穩定性的多功能光電綜合測試和微加工系統，可根據客戶需求提供多種靈活可選的配置和方案。系統集成了電動運動臺和振鏡的掃描方式，可實現瞬態和穩態下的光電流測試和掃描成像，熒光壽命測試和掃描成像，拉曼光譜測試，二次諧波測試，熒光光譜采集，發射和吸收等光譜端的測試和掃描成像。除此之外，整套系統可搭配飛秒脈沖激光器和我司自主研發的低溫系統進行相關的變溫測試以及器件表面的微加工和缺陷標記。多模態光電顯微鏡將為眾多新質生產力領域提供強大的支持，助力國內相關領域的發展和科技創新。

- 極紫外-太赫茲波段的超寬譜線覆蓋范圍(266nm-0.8THz)

- 多種可選的穩態光源和瞬態光源

- 提供激光功率和頻率的軟件控制

- 電動顯微聚焦

- 多種可選的光采集模式

- 瞬態和穩態光源和光路的電動切換

- 線偏振光和圓偏振光的電動偏振測試

- 支持直流，交流以及高頻探針

（漏電流<100fA）

- 支持常溫和變溫下的引線鍵合測試（10K-450K）

- 支持常溫和變溫下的探針測試

（77K-450K）

- 兼容2450，4200，6221等多種源表

- 兼容OE1201，SR810等多種鎖相放大器