一、產品概述：

探針臺是一種用于微小電子元件和材料的測試設備，廣泛應用于半導體、材料科學和微電子領域。它提供一個穩定的平臺，用于精確定位和連接探針，以實現對樣品的電氣測試和分析。

二、設備用途/原理：

·設備用途

探針臺主要用于測試集成電路、薄膜材料和微結構等的電氣性能。常見應用包括半導體器件的參數測試、材料的電阻率測量和故障分析等。通過高精度的定位和可調節的探針，研究人員能夠獲取樣品的詳細電氣特性。

·工作原理

探針臺的工作原理是通過機械系統將探針精確地定位到樣品的特定接觸點。設備通常配備高分辨率的光學系統，用于觀察樣品并調整探針的位置。當探針接觸樣品時，可以通過外部測試設備（如源測量單元）施加電流或電壓，并測量相應的電壓或電流反應。通過這種方式，研究人員可以獲取樣品的電氣參數，分析其性能和特性。

三、主要技術指標：

1. 探針臺主要應用于晶圓、芯片、器件、封裝等半導體制程測試環節

2. 樣品尺寸：碎片~12英寸

3. 自動化：手動、半自動、全自動

4. 測試環境：高低溫、磁場、真空

5. 探針臺類型：分析探針臺、直流、射頻、高壓、毫米波、太赫茲、硅光測量、芯片測量、定制化等。