全自動微形狀測量機

1. 產品概述：

ET4000A 是小坂研究所推出的一款多功能、全自動的微細形狀測量機，在平板顯示器（FPD）、晶圓、硬盤等納米尺度的測量領域應用廣泛。

2. 設備應用：

o 半導體行業：用于晶圓表面的形貌、臺階高度、粗糙度等參數的精確測量，對半導體芯片的制造工藝控制和質量檢測至關重要，比如測量晶圓表面的薄膜厚度、刻蝕深度等。

o 平板顯示領域：可檢測 FPD 基板的表面平整度、段差、微觀結構等，保障平板顯示器的顯示質量和性能，像液晶面板、OLED 面板等的相關測量。

o 硬盤制造：能夠測量硬盤盤片的表面粗糙度、磁頭飛行高度等關鍵參數，對于提高硬盤的存儲密度和讀寫性能有重要意義。

o 精密加工行業：適用于各種精密機械零部件的表面形狀、尺寸精度測量，有助于提升產品的加工精度和質量控制水平，例如精密模具、微型機械零件等的測量。

o 科研領域：為材料科學、納米技術等科研項目提供高精度的微觀形狀測量數據，支持相關領域的研究和創新，如納米材料的表面特性研究、微機電系統（MEMS）器件的形貌分析等。

ET4000A：多功能全自動微形狀測量機

特點：這款測量機具備多功能性，能夠滿足各種復雜的測量需求。

應用：非常適合需要高精度、多功能測量的應用場景，如科研、精密制造等。

ET4000L：可處理大尺寸的全自動微形狀測量機

特點：這款測量機特別設計用于處理大尺寸樣品，具有的穩定性和精度。

應用：非常適合需要測量大尺寸基板、晶圓等的應用場景，如平板顯示器制造、半導體行業等。

ET4000M：合理、高性能、通用的微形狀測量機

特點：這款測量機具有合理的價格、高性能和通用性，能夠滿足大多數測量需求。

應用：非常適合需要高精度測量但預算有限的應用場景，如質量控制、產品研發等。

ET4000系列全自動微形狀測量機提供了多種型號選擇，以滿足不同應用場景和預算需求。無論您需要測量小尺寸還是大尺寸樣品，高精度還是多功能性，ET4000系列都能提供合適的解決方案。

3. 設備特點：

o 高精度測量：具備出色的臺階再現性與線性度，保證測量結果的準確性和可靠性，例如在測量微小臺階高度時能精確到納米級別。

o 超高真直度：確保量測圖形不受干擾，可在真直度保證下進行長距離測量，有利于對大型工件或具有長行程特征的樣品進行精確測量。

o 先進的檢出器：采用超低噪音直動式 LVDT，超低測定力的觸針可任意調節，既能滿足不同測量需求，又能避免對被測物體表面造成損傷。

o 高分辨率定位：配備高分辨率的 CCD，可即時進行高精度定位測量，有助于快速準確地找到測量位置，提高測量效率。

o 多功能性：可對應各種國際規范，測定參數多達 60 多種，滿足不同行業和應用場景對測量參數的多樣化需求。

o 廣泛的適用性：適用于各種與納米材料有關的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜 / 化學涂層以及平板顯示等領域，具有很強的通用性。

4. 產品參數（以P5551A為例）：

o 測定工件：

o 最大工件尺寸：210×210mm 至 300×400mm。

o 最大工件厚度：50mm。

o 最大工件重量：2kg。

o 檢出器（pickup）：

o z 方向測定范圍：max.100μm。

o z 方向分解能：0.1nm。

o 測定力：0.5μN 至 500μN。

o 觸針半徑：0.5μm、2μm。

o 驅動方式：直動式。

o x 軸（基準軸）：

o 移動量（最大測長）：100mm。

o 移動的真直度：0.005μm/5mm。

o 測定速度：0.005～2mm/s。

o 位置定位時速度：max.10mm/s。

o 線性尺（linear scale）分解能：0.01μm。

o 位置定位再現性：±5μm。

o 滑軌材質：在鑄鐵（CD - 5）上鍍上硬質 Cr，無潤滑（于移動臺側，使用鐵弗龍折動材料）。

o 驅動：DC motor + dynamic belt。

o y 軸（位置決定用）：

o 移動量：52mm。

o 移動速度：max.3mm/s。

o 滑軌：cross roller 滑軌。

o 驅動：DC motor + 滾珠螺桿（p = 2mm）。

o 檢出器自動停止機能。

o 工件臺：

o 工件臺尺寸：210mm×210mm。

o 自動傾斜量：x 為 ±1mm/150mm，y 為 ±1mm/186mm。

o 分解能：0.25μm。

o 驅動：pulse motor。

o 其他：

o 全自動量測功能。

o 工件觀察：max.80 倍（可選購其它高倍率 CCD）。

o 床臺材質為花崗巖石。

o 段差測定再現性：1δ，5a° 以內。

o 防振臺（選購）：落地型或桌上型。

o 電源：AC100V±10%，50/60Hz，800VA。

o 本體外觀尺寸：W660×D580×H660mm（不含防震臺）。