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            光譜橢偏儀

            簡要描述:UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用的測量方式,實現了高速測量和機體的小型化。
            我們的產品陣容包括便攜式,自動式和對應真空環境的設備內置式類型。

            • 產品型號:UNECS系列
            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2024-09-04
            • 訪  問  量: 364

            詳細介紹

            1. 產品概述:

            UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用的測量方式,實現了高速測量和機體的小型化。

            我們的產品陣容包括便攜式,自動式和對應真空環境的設備內置式類型。

            2. 特點

            高速測定
            快照方法可實現高達20 ms的高速測量。

            適用于可見光譜:
            波長范圍可選標準類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。

            緊湊型傳感器單元:
            光發射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護。

            豐富的產品陣容:
            產品陣容應用廣泛,包括如便攜類型,手動/自動平臺類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環境的內置類型。

            3. 用途

            透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數的測量


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